BS-4020A Trinocular Industrial Wafer Inspection Microscope

හැඳින්වීම
BS-4020A කාර්මික පරීක්ෂණ අන්වීක්ෂය විවිධ ප්රමාණයේ වේෆර් සහ විශාල PCB පරීක්ෂා කිරීම සඳහා විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. මෙම අන්වීක්ෂය විශ්වාසදායක, සුවපහසු සහ නිරවද්ය නිරීක්ෂණ අත්දැකීමක් ලබා දිය හැකිය. පරිපූර්ණ ලෙස ක්රියාත්මක කරන ලද ව්යුහය, අධි-විභේදන දෘශ්ය පද්ධතිය සහ ergonomical මෙහෙයුම් පද්ධතිය සමඟ, BS-4020 වෘත්තීය විශ්ලේෂණය සාක්ෂාත් කර ගන්නා අතර වේෆර්, FPD, පරිපථ පැකේජය, PCB, ද්රව්ය විද්යාව, නිරවද්යතා වාත්තු කිරීම, ලෝහ සෙරමික්, නිරවද්යතා අච්චුව, පර්යේෂණ සහ පරීක්ෂා කිරීමේ විවිධ අවශ්යතා සපුරාලයි. අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ ආදිය.
1. පරිපූර්ණ අන්වීක්ෂීය ආලෝකකරණ පද්ධතිය.
අන්වීක්ෂය Kohler ආලෝකය සමඟ පැමිණේ, නැරඹුම් ක්ෂේත්රය පුරා දීප්තිමත් හා ඒකාකාර ආලෝකයක් සපයයි. ඉන්ෆිනිටි ඔප්ටිකල් පද්ධතිය NIS45 සමඟ සම්බන්ධීකරණය, ඉහළ NA සහ LWD අරමුණ, පරිපූර්ණ අන්වීක්ෂීය රූප ලබා දිය හැක.

විශේෂාංග


පරාවර්තක ආලෝකකරණයේ දීප්තිමත් ක්ෂේත්රය
BS-4020A විශිෂ්ට අනන්ත දෘශ්ය පද්ධතියක් භාවිතා කරයි. නැරඹුම් ක්ෂේත්රය ඒකාකාරී, දීප්තිමත් සහ ඉහළ වර්ණ ප්රතිනිෂ්පාදන උපාධියක් ඇත. පාරාන්ධ අර්ධ සන්නායක සාම්පල නිරීක්ෂණය කිරීම සුදුසුය.
අඳුරු ක්ෂේත්රය
අඳුරු ක්ෂේත්ර නිරීක්ෂණයේ දී අධි-විභේදන රූප අවබෝධ කර ගැනීමට සහ සියුම් සීරීම් වැනි අඩුපාඩු සඳහා ඉහළ සංවේදීතා පරීක්ෂාවකට ගෙන යාමට එයට හැකිය. ඉහළ ඉල්ලුමක් ඇති සාම්පල මතුපිට පරීක්ෂා කිරීම සඳහා එය සුදුසු වේ.
සම්ප්රේෂණය කරන ලද ආලෝකයේ දීප්තිමත් ක්ෂේත්රය
FPD සහ දෘශ්ය මූලද්රව්ය වැනි විනිවිද පෙනෙන සාම්පල සඳහා, සම්ප්රේෂණය වන ආලෝකයේ කන්ඩෙන්සර් මගින් දීප්තිමත් ක්ෂේත්ර නිරීක්ෂණය සාක්ෂාත් කරගත හැකිය. එය DIC, සරල ධ්රැවීකරණය සහ අනෙකුත් උපාංග සමඟ ද භාවිතා කළ හැකිය.
සරල ධ්රැවීකරණය
මෙම නිරීක්ෂණ ක්රමය ලෝහමය පටක, ඛණිජ ලවණ, LCD සහ අර්ධ සන්නායක ද්රව්ය වැනි දෙබිඩි නිදර්ශක සඳහා සුදුසු වේ.
පරාවර්තනය කරන ලද ආලෝකය DIC
නිරවද්ය අච්චු වල කුඩා වෙනස්කම් නිරීක්ෂණය කිරීමට මෙම ක්රමය භාවිතා කරයි. නිරීක්ෂණ ශිල්පීය ක්රමයට සාමාන්ය නිරීක්ෂණ ක්රමයකින් දැකිය නොහැකි කුඩා උස වෙනසක් එම්බස්මන්ට් සහ ත්රිමාණ රූප ආකාරයෙන් පෙන්විය හැක.





2. උසස් තත්ත්වයේ අර්ධ APO සහ APO දීප්තිමත් ක්ෂේත්ර සහ අඳුරු ක්ෂේත්ර අරමුණු.
බහු ස්ථර ආලේපන තාක්ෂණය භාවිතා කිරීමෙන්, NIS45 ශ්රේණියේ අර්ධ APO සහ APO වෛෂයික කාච මඟින් ගෝලාකාර අපගමනය සහ පාරජම්බුල කිරණ සිට ආසන්න අධෝරක්ත කිරණ දක්වා වර්ණ අපගමනයට වන්දි ගෙවිය හැකිය. රූපවල තියුණු බව, විභේදනය සහ වර්ණ විදැහුම්කරණය සහතික කළ හැකිය. විවිධ විශාලන සඳහා අධි-විභේදන සහ පැතලි රූපයක් සහිත රූපයක් ලබා ගත හැකිය.

3. මෙහෙයුම් පැනලය අන්වීක්ෂයේ ඉදිරිපස ඇත, ක්රියා කිරීමට පහසුය.
යාන්ත්රණ පාලන පැනලය අන්වීක්ෂයේ ඉදිරිපස (ක්රියාකරු අසල) පිහිටා ඇති අතර එමඟින් නියැදිය නිරීක්ෂණය කිරීමේදී මෙහෙයුම වඩාත් ඉක්මනින් සහ පහසු වේ. තවද එය දිගු වේලාවක් නිරීක්ෂණය කිරීමෙන් ඇතිවන තෙහෙට්ටුව සහ විශාල චලනයකින් ගෙන එන දූවිලි අඩු කළ හැකිය.

4. Ergo tilting trinocular viewing head.
දිගු වේලාවක් වැඩ කිරීම නිසා ඇති වන මාංශ පේශි ආතතිය සහ අපහසුතාවයන් අවම කිරීම සඳහා Ergo tilting viewing head මගින් නිරීක්ෂණය වඩාත් සුවපහසු කළ හැක.

5. නාභිගත කිරීමේ යාන්ත්රණය සහ පහත් අත් පිහිටීම සහිත වේදිකාවේ සියුම් ගැලපුම් හසුරුව.
නාභිගත කිරීමේ යාන්ත්රණය සහ වේදිකාවේ සියුම් ගැලපුම් හසුරුව ergonomic සැලසුමට අනුරූප වන පහත් අත් පිහිටුම් සැලසුම අනුගමනය කරයි. ක්රියාත්මක වන විට පරිශීලකයින්ට අත් ඔසවන්නට අවශ්ය නැත, එය උපරිම සුවපහසු හැඟීමක් ලබා දෙයි.

6. වේදිකාවේ සවි කර ඇති ක්ලචින් හසුරුව ඇත.
ක්ලචින් හසුරුවට වේදිකාවේ වේගවත් හා මන්දගාමී චලන ආකාරය අවබෝධ කර ගත හැකි අතර විශාල ප්රදේශයේ සාම්පල ඉක්මනින් සොයා ගත හැක. වේදිකාවේ සියුම් ගැලපුම් හසුරුව සමඟ එක්ව භාවිතා කරන විට සාම්පල ඉක්මනින් හා නිවැරදිව සොයා ගැනීම තවදුරටත් අපහසු නොවනු ඇත.
7. විශාල වේෆර් සහ PCB සඳහා අති විශාල වේදිකාව (14”x 12”) භාවිතා කළ හැක.
ක්ෂුද්ර ඉලෙක්ට්රොනික් සහ අර්ධ සන්නායක සාම්පලවල ප්රදේශ, විශේෂයෙන් වේෆර් විශාල වේ, එබැවින් සාමාන්ය ලෝහ ග්රැෆික් අන්වීක්ෂ වේදිකාවට ඒවායේ නිරීක්ෂණ අවශ්යතා සපුරාලිය නොහැක. BS-4020A විශාල චලන පරාසයක් සහිත විශාල වේදිකාවක් ඇති අතර එය පහසු සහ චලනය කිරීමට පහසුය. එබැවින් විශාල ප්රදේශයක කාර්මික සාම්පලවල අන්වීක්ෂීය නිරීක්ෂණ සඳහා එය කදිම උපකරණයකි.
8. 12” වේෆර් රඳවනය අන්වීක්ෂය සමඟ පැමිණේ.
12” වේෆර් සහ කුඩා ප්රමාණයේ වේෆර් මෙම අන්වීක්ෂයෙන් නිරීක්ෂණය කළ හැකි අතර, වේගවත් හා සියුම් චලන අදියර හසුරුවකින්, එය ක්රියාකාරී කාර්යක්ෂමතාව බෙහෙවින් වැඩි දියුණු කළ හැකිය.
9. ප්රති-ස්ථිතික ආරක්ෂණ ආවරණයක් දූවිලි අඩු කළ හැක.
කාර්මික සාම්පල පාවෙන දූවිලි වලින් ඈත් විය යුතු අතර, දූවිලි ස්වල්පයක් නිෂ්පාදනයේ ගුණාත්මක භාවයට සහ පරීක්ෂණ ප්රතිඵලවලට බලපෑම් කළ හැකිය. BS-4020A සතුව ප්රති-ස්ථිතික ආරක්ෂිත ආවරණයක් විශාල ප්රදේශයක් ඇති අතර, එමඟින් සාම්පල ආරක්ෂා කිරීමට සහ පරීක්ෂණ ප්රතිඵලය වඩාත් නිවැරදි කිරීමට පාවෙන දූවිලි හා වැටීම් දූවිලි වළක්වා ගත හැකිය.
10. දිගු වැඩ කරන දුර සහ ඉහළ NA අරමුණ.
පරිපථ පුවරු සාම්පලවල ඉලෙක්ට්රොනික උපාංග සහ අර්ධ සන්නායකවල උසෙහි වෙනසක් ඇත. එබැවින්, මෙම අන්වීක්ෂය මත දිගු සේවා දුර අරමුණු අනුගමනය කර ඇත. මේ අතර, කාර්මික සාම්පලවල වර්ණ ප්රතිනිෂ්පාදනය පිළිබඳ ඉහළ අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා, බහු ස්ථර ආලේපන තාක්ෂණය වසර ගණනාවක් තිස්සේ සංවර්ධනය කර වැඩි දියුණු කර ඇති අතර ඉහළ NA සහිත BF&DF අර්ධ APO සහ APO අරමුණ අනුගමනය කරන අතර එමඟින් සාම්පලවල සැබෑ වර්ණය ප්රතිස්ථාපනය කළ හැකිය. .
11. විවිධ නිරීක්ෂණ ක්රම මගින් විවිධ පරීක්ෂණ අවශ්යතා සපුරාලිය හැක.
ආලෝකකරණය | දීප්තිමත් ක්ෂේත්රය | අඳුරු ක්ෂේත්රය | DIC | ප්රතිදීප්ත ආලෝකය | ධ්රැවීකරණය වූ ආලෝකය |
පරාවර්තනය කරන ලද ආලෝකකරණය | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
සම්ප්රේෂිත ආලෝකකරණය | ○ | - | - | - | ○ |
යෙදුම
BS-4020A කාර්මික පරීක්ෂණ අන්වීක්ෂය විවිධ ප්රමාණයේ වේෆර් සහ විශාල PCB පරීක්ෂා කිරීම සඳහා කදිම උපකරණයකි. මෙම අන්වීක්ෂය විශ්ව විද්යාල, ඉලෙක්ට්රොනික හා චිප්ස් කර්මාන්තශාලා වල වේෆර්, FPD, පරිපථ පැකේජය, PCB, ද්රව්ය විද්යාව, නිරවද්යතා වාත්තු කිරීම, ලෝහ සෙරමික්, නිරවද්ය අච්චුව, අර්ධ සන්නායක සහ ඉලෙක්ට්රොනික උපකරණ ආදිය පර්යේෂණ සහ පරීක්ෂා කිරීම සඳහා භාවිතා කළ හැකිය.
පිරිවිතර
අයිතමය | පිරිවිතර | BS-4020A | BS-4020B | |
ඔප්ටිකල් පද්ධතිය | NIS45 අනන්ත වර්ණ නිවැරදි කරන ලද දෘශ්ය පද්ධතිය (නල දිග: 200mm) | ● | ● | |
බැලීමේ හිස | Ergo Tilting Trinocular Head, වෙනස් කළ හැකි 0-35° ආනත, interpupillary දුර 47mm-78mm; බෙදීමේ අනුපාතය Eyepiece:Trinocular=100:0 හෝ 20:80 හෝ 0:100 | ● | ● | |
Seidentopf Trinocular Head, 30° ආනත, අන්තර් පුලුල් දුර: 47mm-78mm; බෙදීමේ අනුපාතය Eyepiece:Trinocular=100:0 හෝ 20:80 හෝ 0:100 | ○ | ○ | ||
Seidentopf දුරදක්න හිස, 30° ආනත, අන්තර් පුලුල් දුර: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
ඇස් කණ්ණාඩිය | සුපිරි පුළුල් ක්ෂේත්ර සැලැස්ම අයිපීස් SW10X/25mm, diopter වෙනස් කළ හැකිය | ● | ● | |
සුපිරි පුළුල් ක්ෂේත්ර සැලැස්ම අයිපීස් SW10X/22mm, diopter වෙනස් කළ හැකිය | ○ | ○ | ||
අමතර පුළුල් ක්ෂේත්ර සැලැස්ම අක්ෂි EW12.5X/17.5mm, ඩයොප්ටරය වෙනස් කළ හැකිය | ○ | ○ | ||
පුළුල් ක්ෂේත්ර සැලැස්ම අක්ෂි WF15X/16mm, ඩයොප්ටරය වෙනස් කළ හැකිය | ○ | ○ | ||
පුළුල් ක්ෂේත්ර සැලැස්ම අයිපීස් WF20X/12mm, diopter වෙනස් කළ හැකිය | ○ | ○ | ||
පරමාර්ථය | NIS45 Infinite LWD සැලැස්ම අර්ධ APO අරමුණ (BF සහ DF), M26 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ● | ● |
10X/NA=0.3, WD=11mm | ● | ● | ||
20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ● | ● | ||
NIS45 Infinite LWD සැලැස්ම APO අරමුණ (BF සහ DF), M26 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ● | ● | |
100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ● | ● | ||
NIS60 Infinite LWD සැලැස්ම අර්ධ APO අරමුණ (BF), M25 | 5X/NA=0.15, WD=20mm | ○ | ○ | |
10X/NA=0.3, WD=11mm | ○ | ○ | ||
20X/NA=0.45, WD=3.0mm | ○ | ○ | ||
NIS60 Infinite LWD සැලැස්ම APO අරමුණ (BF), M25 | 50X/NA=0.8, WD=1.0mm | ○ | ○ | |
100X/NA=0.9, WD=1.0mm | ○ | ○ | ||
නාස් කෑල්ල | පසුපසට සෙක්ස්ටුපල් නාසය (DIC තව් සහිත) | ● | ● | |
කන්ඩෙන්සර් | LWD කන්ඩෙන්සර් NA0.65 | ○ | ● | |
සම්ප්රේෂිත ආලෝකකරණය | දෘශ්ය තන්තු ආලෝක මාර්ගෝපදේශය සහිත 40W LED බල සැපයුම, තීව්රතාවය වෙනස් කළ හැකිය | ○ | ● | |
පරාවර්තනය කරන ලද ආලෝකකරණය | පරාවර්තනය කරන ලද ආලෝකය 24V/100W හැලජන් ලාම්පුව, Koehler ආලෝකකරණය, 6 පිහිටුම් ටර්ට් සහිත | ● | ● | |
100W හැලජන් ලාම්පු නිවස | ● | ● | ||
5W LED ලාම්පුවක් සහිත පරාවර්තක ආලෝකය, Koehler ආලෝකය, 6 පිහිටුම් ටර්ට් සහිත | ○ | ○ | ||
BF1 දීප්තිමත් ක්ෂේත්ර මොඩියුලය | ● | ● | ||
BF2 දීප්තිමත් ක්ෂේත්ර මොඩියුලය | ● | ● | ||
DF අඳුරු ක්ෂේත්ර මොඩියුලය | ● | ● | ||
තිළැලි ND6, ND25 පෙරහන සහ වර්ණ නිවැරදි කිරීමේ පෙරහන | ○ | ○ | ||
ECO කාර්යය | ECO බොත්තම සමඟ ECO කාර්යය | ● | ● | |
අවධානය යොමු කිරීම | අඩු පිහිටුම් කොක්සියල් රළු සහ සියුම් නාභිගත කිරීම, සියුම් බෙදීම 1μm, චලනය වන පරාසය 35mm | ● | ● | |
අදියර | ක්ලචින් හසුරුව සහිත 3 ස්ථර යාන්ත්රික අදියර, ප්රමාණය 14”x12” (356mmx305mm); චලනය වන පරාසය 356mmX305mm; සම්ප්රේෂණය කරන ලද ආලෝකය සඳහා ආලෝකකරණ ප්රදේශය: 356x284mm. | ● | ● | |
වේෆර් රඳවනය: 12" වේෆර් රඳවා ගැනීමට භාවිතා කළ හැක | ● | ● | ||
DIC කට්ටලය | පරාවර්තක ආලෝකකරණය සඳහා DIC කට්ටලය (10X, 20X, 50X, 100X අරමුණු සඳහා භාවිතා කළ හැක) | ○ | ○ | |
ධ්රැවීකරණ කට්ටලය | පරාවර්තනය කරන ලද ආලෝකය සඳහා ධ්රැවීකරණය | ○ | ○ | |
පරාවර්තනය කරන ලද ආලෝකය සඳහා විශ්ලේෂකය, 0-360 ° භ්රමණය කළ හැකිය | ○ | ○ | ||
සම්ප්රේෂණය වන ආලෝකය සඳහා ධ්රැවීකරණය | ○ | ○ | ||
සම්ප්රේෂණය කරන ලද ආලෝකය සඳහා විශ්ලේෂකය | ○ | ○ | ||
වෙනත් උපාංග | 0.5X C-මවුන්ට් ඇඩැප්ටරය | ○ | ○ | |
1X C-මවුන්ට් ඇඩැප්ටරය | ○ | ○ | ||
දූවිලි ආවරණය | ● | ● | ||
විදුලි රැහැන් | ● | ● | ||
ක්රමාංකන ස්ලයිඩය 0.01mm | ○ | ○ | ||
ආදර්ශ මුද්රණ යන්ත්රය | ○ | ○ |
සටහන: ● සම්මත ඇඳුම, ○ විකල්ප
නියැදි රූපය





මානය

ඒකකය: මි.මී
පද්ධති රූප සටහන

සහතිකය

ලොජිස්ටික්ස්
